常用半導(dǎo)體污水處理工藝流程是一個(gè)復(fù)雜且精細(xì)的過程，旨在去除廢水中的有害物質(zhì)，保護(hù)環(huán)境和實(shí)現(xiàn)資源的回收利用。以下是一個(gè)典型的半導(dǎo)體污水處理工藝流程的概述：

一、預(yù)處理階段

1、格柵攔截：通過格柵去除廢水中的大顆粒懸浮物，如碎屑、漂浮物等，防止其進(jìn)入后續(xù)處理單元造成堵塞。

2、沉淀/固液分離：利用重力作用，使廢水中的懸浮顆粒在沉淀池中沉降下來，進(jìn)一步去除廢水中的懸浮物。此外，還可以采用過濾等物理方法輔助固液分離。

3、pH調(diào)節(jié)：根據(jù)廢水中污染物的性質(zhì)，調(diào)整廢水pH值至適宜范圍，以便后續(xù)處理工藝能夠更好地發(fā)揮作用。

二、分類處理階段

半導(dǎo)體生產(chǎn)過程中產(chǎn)生的廢水種類繁多，包括酸堿廢水、含氟廢水、研磨廢水等，需要根據(jù)廢水類型進(jìn)行分類處理。

1、酸堿廢水處理：

pH中和法：將酸堿廢水調(diào)節(jié)至中性，常用的中和劑有石灰、氫氧化鈉等。

濃縮法：對(duì)于高濃度的酸堿廢水，可以采用蒸發(fā)濃縮等方法進(jìn)行減量化處理。

2、含氟廢水處理：

吸附法：利用活性氧化鋁等吸附劑去除廢水中的氟離子。

化學(xué)加藥混凝法：通過投加化學(xué)藥劑（如氯化鈣）與氟離子反應(yīng)生成沉淀物，再通過混凝沉淀去除。

3、研磨廢水處理：

化學(xué)混凝沉淀法：投加混凝劑（如聚合氯化鋁、聚丙烯酰胺等）使廢水中的懸浮顆粒聚集成較大的絮狀物，然后通過沉淀去除。

三、深度處理階段

1、膜分離技術(shù)：利用超濾(UF)、納濾(NF)或反滲透(RO)等膜技術(shù)去除廢水中的溶解性固體、膠體物質(zhì)和部分有機(jī)物，提高廢水的水質(zhì)。

2、高級(jí)氧化技術(shù)(AOP)：對(duì)于難以生物降解的有機(jī)物，可以采用高級(jí)氧化技術(shù)進(jìn)行處理。該技術(shù)使用臭氧、過氧化氫等強(qiáng)氧化劑，在催化劑（如TiO?）和紫外光的作用下，生成羥基自由基等強(qiáng)氧化性物質(zhì)，將有機(jī)物降解為無(wú)害的小分子物質(zhì)。

3、電解處理：通過電解的方式，使廢水中的有害物質(zhì)轉(zhuǎn)化為無(wú)害物質(zhì)或易于處理的形式。例如，電解過程中產(chǎn)生的鋁、鎂等離子體可以與廢水中的污染物結(jié)合生成沉淀物。

四、達(dá)標(biāo)排放或回用

經(jīng)過上述處理工藝后，廢水中的有害物質(zhì)得到有效去除，水質(zhì)達(dá)到排放標(biāo)準(zhǔn)或回用要求。對(duì)于達(dá)到排放標(biāo)準(zhǔn)的廢水，可以直接排入環(huán)境；對(duì)于滿足回用要求的廢水，則可以回用于生產(chǎn)過程，實(shí)現(xiàn)水資源的循環(huán)利用。

需要注意的是，半導(dǎo)體污水處理工藝流程的具體設(shè)計(jì)需要根據(jù)廢水的性質(zhì)、處理要求以及當(dāng)?shù)丨h(huán)保法規(guī)等因素進(jìn)行綜合考慮。同時(shí)，隨著技術(shù)的不斷發(fā)展，新的處理工藝和技術(shù)也將不斷涌現(xiàn)，為半導(dǎo)體行業(yè)的可持續(xù)發(fā)展提供有力保障。